/
[통상용어 사전] 불화수소
![[통상용어 사전] 불화수소](https://www.korea.kr/newsWeb/resources/attaches/2019.08/13/179c6b4ccf4aed32b4643cbc16d4e631.jpg)
[통상용어 사전] 불화수소
![[통상용어 사전] 불화수소](https://www.korea.kr/newsWeb/resources/attaches/2019.08/13/5eba36889dd1970f719e90ddaf56e864.jpg)
[통상용어 사전] 불화수소
![[통상용어 사전] 불화수소](https://www.korea.kr/newsWeb/resources/attaches/2019.08/13/44087e928641e482a94ae940d13f76b0.jpg)
[통상용어 사전] 불화수소
![[통상용어 사전] 불화수소](https://www.korea.kr/newsWeb/resources/attaches/2019.08/13/e7e9fa1c400ad92d8ea975293053b606.jpg)
[통상용어 사전] 불화수소
![[통상용어 사전] 불화수소](https://www.korea.kr/newsWeb/resources/attaches/2019.08/13/d4b01666f6c4cfa3d415f11f38dd2ab9.jpg)
뉴스에서 봤던 용어, 이해하기 쉽게 설명해드립니다. 오늘은 ‘불화수소’입니다.
◆ 불화수소란?
독성이 있는 부식성 기체로 반도체 회로를 만들 때 회로 패턴 외에 불필요한 부분을 제거하는 식각공정(Etching)에 사용됩니다. 식각공정은 기체인 불화수소를 낮은 압력과 전기를 이용해 이온으로 분리하는 방식으로 진행됩니다.
이때 이온원자가 감광액이 없는 부분의 산화막과 만나면 휘발성을 띠면서 산화막을 떨어뜨립니다. 이 과정이 끝나면 보호막 역할을 했던 감광액은 제거합니다. 이로써 웨이퍼 위에 회로패턴이 생성되었습니다. 식각공정 이후에는 이온 주입 및 박막 공정, 배선 및 패키징 작업 등을 거쳐 반도체가 완성됩니다.
뉴스에서 봤던 용어, 이해하기 쉽게 설명해드립니다. 오늘은 ‘불화수소’입니다.
◆ 불화수소란?
독성이 있는 부식성 기체로 반도체 회로를 만들 때 회로 패턴 외에 불필요한 부분을 제거하는 식각공정(Etching)에 사용됩니다. 식각공정은 기체인 불화수소를 낮은 압력과 전기를 이용해 이온으로 분리하는 방식으로 진행됩니다.
이때 이온원자가 감광액이 없는 부분의 산화막과 만나면 휘발성을 띠면서 산화막을 떨어뜨립니다. 이 과정이 끝나면 보호막 역할을 했던 감광액은 제거합니다. 이로써 웨이퍼 위에 회로패턴이 생성되었습니다. 식각공정 이후에는 이온 주입 및 박막 공정, 배선 및 패키징 작업 등을 거쳐 반도체가 완성됩니다.